Seminar

Title반도체 설비/공정에서의 Data 분석 기술 활용2017-11-14 10:10:31
Writer Level 10

일시 : 2017-11-30(목) 16:30 ~ 18:00

장소 : 수리과학관 404호

발표자 : 김태훈(삼성전자 생산기술연구소 상무)

제목 : 반도체 설비/공정에서의 Data 분석 기술 활용


초록 :

반도체 공정은 수백개의 프로세스로 이루어지는 복잡하고 정교한 공정으로 반도체 제품이 최종 완성되기까지 제품(Wafer)의 불량 발생을 최소화하고 생산성을 극대화시키는 활동이 매우 중요하다. 이를 위하여 반도체 공장(Fab)에서는 공정 이상을 탐지하고 근본 원인을 찾기 위해 다양한 분석 활동을 수행하는데, 본 세미나에서는 반도체 설비/공정에서의 분석 활동을 분류하고 각 분석 활동에서 활용되는 통계적, 알고리즘적  분석 기술 및 Software 기술의 개요를 소개한다. 또한, 향후 빅데이터 및 인공지능 환경에서 이를 효과적으로 다루기 위한 Data 분석 역량을 제시하고 향후 가능한 협력 방안에 대해 토의해보도록 한다. 

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